ULVAC 愛發(fā)科 螺桿型干泵 日本原裝

ULVAC 愛發(fā)科 螺桿型干泵 日本原裝

• 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

• 采用ULVAC設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。

• 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

• 用途

• 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

• 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。

• 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

• 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。

• 規(guī)格

• 型式		MS120A	MS600A	MS1200A
  最大排氣速度 *1	m3/h	115	560	980
  到達壓力	Pa	≦0.6	≦0.1
  電源電壓		200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
  消費電力概略值 *2	kW	2.4	3.1	3.1
  冷卻水量	L/min	>4.0
  Purge gas量 *1	SLM	0~50
  最大水蒸氣處理量 *1*3	kg/h	1.5
  噪音值　*1	dB(A)	61	62	64

• 吸氣口		KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)	ISO-F-80	ISO-F-100
  排氣口		KF40
  質量 *4	kg	139	241	264